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재료연구원, 반도체 제조장비용 세라믹 신소재 국내 첫 개발

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2021.06.08 11:09 24 0

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한국재료연구원 연구진이 반도체 선폭 미세화의 장애물인 오염입자를 해결할 수 있는 내플라즈마성 나노구조 복합세라믹 제조 기술을 국내 최초로 개발하는 데 성공했다.