재료연구원, 반도체 제조장비용 세라믹 신소재 국내 첫 개발

  • 등록일 2021-06-08
  • 조회수 3112
첨부파일

한국재료연구원 연구진이 반도체 선폭 미세화의 장애물인 오염입자를 해결할 수 있는 내플라즈마성 나노구조 복합세라믹 제조 기술을 국내 최초로 개발하는 데 성공했다.


목록으로

이전글
세계 최고 ‘수전해 촉매’…온도조절로 나노입자 조성 최적화
다음글
“‘나노멤브레인’ 봉지 씌웠더니 포도 잘 자라”... 경북농업기술원 등 공동개발