나노종기원, 반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 국산화

  • 등록일 2021-02-02
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나노종합기술원이 코리아스펙트랄 프로 덕츠‘KSP’와의 공동연구를 통해 그 동안 수입에 의존하던 ‘반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품’ 기술자립화에 성공했다. 


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